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    产品中心
    Product center
    产品中心
    Product center
    生产运营平台
    PRMS
    光刻胶管理系统

    产品概览

    • 光阻频繁更换
      产能需求日增、机台能力限制、车间控间有限,往往会搭配许多的机台限制
    • 依赖人工易疏漏
      以往光阻更换系统的核对方式,不论是表单记录或是barcode比对,操作的核心还是依靠人工
    • PRMS 系统

      通过管控机制与设计,可以有效避免光刻胶过期报废,或是人员换装光刻胶的误动作风险

    智能工具与丰富应用场景

    功能特点

    • 01
      — identical HW / SW —

      自主开发系统,具有高度客制能力

    • 02
      — big data analysis —

      可运用大数据分析管理,结合inline defect分析系统快速找到真因

    • 03
      —MO prevention —

      使用RFID定时定位,可以有效防止人员操作失误造成的风险

    • 04
      — cost reduction —

      通过缜密系统,可以有效运用,不会有过期或疏漏造成的impact

    优势效果

    • 虚拟量测
    • 设备健康度监控
    • 图像缺陷诊断
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